Ионный насос

Cтраница 1

Титановый сублимационный насос фирмы Эдварде ( Англия.| Насос с радиальным электрическим полем фирмы Эдварде ( Англия. [1]

Ионные насосы, описанные в литературе, самостоятельно почти не применяют из-за большого расхода энергии. [2]

Ионные насосы могут создавать предельное давление порядка 10 - 7 - 10 - 8 мм рт. ст. при скорости откачки несколько тысяч литров в секунду, однако большой расход энергии ограничивает их промышленное применгние. В этом отношении значительно более выгодными и надежными при работе в промышленных условиях являются сорбцион-ные и сорбционно-ионные насосы. Работа насоса основана на способности распыленного металла интенсивно поглощать газы в присутствии электрического поля. При этом поглощающее действие особенно сильно проявляется для химически активных газов, а нейтральные газы и водяной пар удаляются главным образом ионной откачкой. Предельное давление, создаваемое насосом, обычно составляет 10 - 4 - 10 - 9 мм рт. ст. Скорость откачки насосов достигает 20 000 л / сек. Титан для распыления применяется в виде проволоки, которая сматывается с катушки. Преимуществом насоса является то обстоятельство, что он не требует ловушек или отражателей, а также не нуждается в непрерывной работе форвакуумного насоса. Такие насосы широко применяются в современных ускорителях заряженных частиц. [3]

Ионные насосы, принцип действия которых основан на увеличении заряженных частиц газа силами электри-ческого поля. [4]

Ионные насосы, аналогично диффузионным, требуют создания предварительного вакуума. В качестве форва-куумных насосов обычно используются вращательные масляные или диффузионные насосы. [5]

Характеристики некоторых типов насосов вакуумных систем. [6]

Ионные насосы обеспечивают высокий вакуум, бесшумны и не имеют подвижных элементов конструкций, но ввиду низкой производительности они применяются сравнительно редко. Сорбцион-ные насосы ( титановые, угольные и др.) имеют высокую производительность и большой срок службы. [7]

Ионные насосы действуют по принципу ионизации откачиваемых газов электронным потоком, эмиттирую-щтгся горячим катодом, образовавшиеся положительные ионы благодаря анодному напряжению перемещаются в сторону катода, в непосредственной близости от: которого находится отверстие, к которому подводится вакуумпровод от насоса предварительного разрежения. [8]

Характеристики ионного насоса с холодными катодами ( для воздуха): объем 2 5 л; d 63 мм; V 2600 Я 620 эрст. [9]

Эффективность описанного простейшего ионного насоса чрезвычайно мала, так как число образующихся при таком устройстве положительных ионов ( в единицу времени) очень мало. [10]

Принцип действия ионного насоса основывается на том, что в откачиваемом объеме происходит ионизация газа и образующиеся ионы перемещаются в направлении к катоду, откуда они после нейтрализации удаляются насосом предварительного разрежения. Скорость откачки такого насоса весьма незначительна, а расход энергии значительно больше, чем для диффузионного насоса. Основное преимущество насоса, бесспорно, состоит в том, что здесь отсутствует рабочая жидкость, пары которой могут проникнуть в откачиваемый объем. Для некоторых установок этот фактор имеет первостепенное значение. Благодаря такому свойству ионных насосов отпадает какая-либо необходимость в применении отражателей и охлаждаемых ловушек, которые обычно создают дополнительные сопротивления и резко снижают достигаемую скорость откачки. [11]

Откачивающий эффект ионного насоса зависит от того, насколько число образующихся ионов превышает количество молекул газа, диффундирующих обратно в откачиваемый объем со стороны форвакуума. Чтобы достигнуть нужного эффекта, необходимо стремиться к удлинению пути ионизации, использовать высокое напряжение и катоды с большой электронной эмиссией. [12]

После включения ионных насосов стеклянные трубки, ведущие к сорбционным насосам, отпаивают и далее систему откачивают только ионными насосами. [13]

Большим недостатком ионных насосов с горячим катодом является то, что катод сравнительно быстро выходит из строя. Ионные насосы с холодными катодами лишены этого дефекта и могут работать длительное время в основном за счет поглощения газов внутри са-моголасоса. [14]

После включения ионных насосов стеклянные трубки, ведущие к сорбционным насосам, отпаивают и далее систему откачивают только ионными насосами. [15]

Страницы: 1 2 3 4