Вакуумное оборудование

Cтраница 1

Вакуумное оборудование и вакуумная техника, Изд-во иностр. [1]

Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок так же, как оборудование для откачки ЭВП, может быть разделено на следующие группы: вакуумные установки периодического действия; вакуумные установки непрерывного действия и конвейерные линии непрерывного действия. [2]

Вакуумное оборудование, включая накопители инертного газа, должно быть размещено в изолированном помещении. В отдельных, технически обоснованных, случаях допускается размещение вакуумного оборудования в помещении цеха. [3]

Вакуумное оборудование находит широкое применение в производстве полупроводниковых приборов. К этой группе оборудования прежде всего следует отнести установки, предназначенные для получения различных пленок в вакууме, вытягивания монокристаллов и элионное оборудование. [4]

Вакуумное оборудование установки должно обеспечить давление и состав остаточных газов, не оказывающих заметного влияния на результаты эксперимента. Наиболее подходящим для вакуумных установок, применяемых для термодинамических исследований, следует считать в настоящее время сорбционные охлаждаемые насосы и турбомолекулярные насосы со свободной подвеской ротора. [5]

Книга Вакуумное оборудование и вакуумная техника, вышедшая в США в 1949 г. и в настоящее время выпускаемая в русском переводе, знакомит советского читателя с опытом разработки и эксплоатации промышленного и лабораторного вакуумного оборудования и вакуумной аппаратуры, накопленным в так называемой Радиационной лаборатории Калифорнийского университета. В книге содержится описание конструкций и работы вакуумных насосов, манометров, течеискателей и конструктивных элементов различных вакуумных систем, которые разрабатывались в Радиационной лаборатории и получили применение в американской лабораторной и промышленной вакуумной технике. Отдельные главы книги написаны различными авторами - специалистами по затронутым вопросам. [6]

Конструирование вакуумного оборудования в основном зависит от требований производственного процесса, для которого предназначается вакуум, однако отдельные узлы такой конструкции должны удовлетворять специальным вакуумным требованиям. Очевидно, такого рода требования следует предъявлять к камерам, уплотнениям и вентилям, используемым в вакуумной технике. Настоящая глава посвящается разбору этих основных требований и обзору современной техники в этой области. [7]

Ряд узлов вакуумного оборудования должен работать при минусовых температурах, а иногда и в условиях глубокого холода. [8]

Материалы по вакуумному оборудованию базируются на каталоге Казанского НПО Вакууммаш, изданном также ЦИНТИХимнефтемашем. [9]

Быстрый рост номенклатуры вакуумного оборудования за последние годы делает невозможным его исчерпывающий анализ. Поэтому в справочнике приводятся лишь наиболее характерные примеры каждого типа оборудования. [10]

Книга содержит описание современного промышленного и лабораторного вакуумного оборудования: вакуумных насосов, манометров, течеискателей и конструктивных элементов различных вакуумных систем. Предварительно сообщаются сведения из кинетической теории газов, необходимые Для расчета вакуумных систем и понимания процессов, происходящих в вакуумной аппаратуре. [11]

При определении срока службы вакуумного оборудования следует пользоваться ОСТ 26 - 04 - 2390 - 79, которым установлены методы его расчета. [12]

В технологии тонкопленочных микросхем используется дорогостоящее вакуумное оборудование. Сам технологический процесс более трудоемкий. Однако высокая чистота процесса нанесения пленок в вакууме и возможность контроля всех критических параметров процесса определяют перспективность тонкопленочной технологии для большинства прецизионных схем приборостроительной промышленности. [13]

Схема процесса опреснения солоноватых вод фильтрованием через слабоосновный анионит и слабокислотный катионит. - - - - - - - - - - - - нечетные циклы. [14]

К недостаткам установки относится сложность вакуумного оборудования. [15]

Страницы: 1 2 3 4