Cтраница 1
Ионно-геттерные насосы применяют только для создания сверхвысокого вакуума. [1]
Схема ионно-геттерного насоса. [2] |
В современных ионно-геттерных насосах обычно совмещены геттерные и ионные методы откачки. Принцип действия ионно-геттерных насосов основан на поглощении газов периодически или непрерывно наносимой пленкой титана и улучшении откачки инертных газов и углеводородов путем ионизации и улавливания положительных ионов. Испарение титана в ионно-геттерных насосах происходит, как правило, из твердой фазы. [3]
Схема диодного магнитного электроразрядного насоса с источником питания. [4] |
В отличие от ионно-геттерных насосов с термическим испарением титана в магнитных электроразрядных насосах для получения активных пленок и для ионизации газов используются разряд в магнитном поле и вызванное им катодное распыление титана. [5]
Совершенно так же параллельно ионно-геттерным насосам могут подключаться пароструйные или турбомоле-кулярные насосы, которые обеспечивают откачку инертных газов и метана. [6]
В одной из разновидностей ионно-геттерного насоса ( рис. 263 6) вольфрамовый стержень 6 является анодом, а два стержня 5 служат катодами и оканчиваются нитями накаливания. На аноде укреплен геттер 4 в виде титановых пластинок. Нити накаливания катодов являются источником электронов, ионизирующих молекулы газа. Вокруг анода расположен сетчатый титановый цилиндр ( на рисунке не показан), соединенный с катодом. Ионы, проходя сетку, ускоряются в направлении корпуса 2 насоса, служащего их коллектором. [7]
В отличие от описанного выше ионно-геттерного насоса в орбитронном ионно-геттерном насосе благодаря увеличению длины свободного пути электронов ( до нескольких метров) быстрота откачки инертных газов значительно увеличена. [8]
В отличие от описанного выше ионно-геттерного насоса в орбитронном ионно-геттерном насосе благодаря увеличению длины свободного пути электронов ( до нескольких метров) быстрота откачки инертных газов значительно увеличена. [9]
Так же, как и в предыдущей конструкции ионно-гет-терного насоса, откачка активных газов орбитронным ионно-геттерным насосом идет путем поглощения их пленкой титана, непрерывно наносимой на внутреннюю поверхность корпуса насоса. [10]
В современных ионно-геттерных насосах обычно совмещены геттерные и ионные методы откачки. Принцип действия ионно-геттерных насосов основан на поглощении газов периодически или непрерывно наносимой пленкой титана и улучшении откачки инертных газов и углеводородов путем ионизации и улавливания положительных ионов. Испарение титана в ионно-геттерных насосах происходит, как правило, из твердой фазы. [11]
В современных ионно-геттерных насосах обычно совмещены геттерные и ионные методы откачки. Принцип действия ионно-геттерных насосов основан на поглощении газов периодически или непрерывно наносимой пленкой титана и улучшении откачки инертных газов и углеводородов путем ионизации и улавливания положительных ионов. Испарение титана в ионно-геттерных насосах происходит, как правило, из твердой фазы. [12]