Ионно-геттерной насос - Большая Энциклопедия Нефти и Газа, статья, страница 1
Христос Воскрес! А мы остались... Законы Мерфи (еще...)

Ионно-геттерной насос

Cтраница 1


Ионно-геттерные насосы применяют только для создания сверхвысокого вакуума.  [1]

2 Схема ионно-геттерного насоса. [2]

В современных ионно-геттерных насосах обычно совмещены геттерные и ионные методы откачки. Принцип действия ионно-геттерных насосов основан на поглощении газов периодически или непрерывно наносимой пленкой титана и улучшении откачки инертных газов и углеводородов путем ионизации и улавливания положительных ионов. Испарение титана в ионно-геттерных насосах происходит, как правило, из твердой фазы.  [3]

4 Схема диодного магнитного электроразрядного насоса с источником питания. [4]

В отличие от ионно-геттерных насосов с термическим испарением титана в магнитных электроразрядных насосах для получения активных пленок и для ионизации газов используются разряд в магнитном поле и вызванное им катодное распыление титана.  [5]

Совершенно так же параллельно ионно-геттерным насосам могут подключаться пароструйные или турбомоле-кулярные насосы, которые обеспечивают откачку инертных газов и метана.  [6]

В одной из разновидностей ионно-геттерного насоса ( рис. 263 6) вольфрамовый стержень 6 является анодом, а два стержня 5 служат катодами и оканчиваются нитями накаливания. На аноде укреплен геттер 4 в виде титановых пластинок. Нити накаливания катодов являются источником электронов, ионизирующих молекулы газа. Вокруг анода расположен сетчатый титановый цилиндр ( на рисунке не показан), соединенный с катодом. Ионы, проходя сетку, ускоряются в направлении корпуса 2 насоса, служащего их коллектором.  [7]

В отличие от описанного выше ионно-геттерного насоса в орбитронном ионно-геттерном насосе благодаря увеличению длины свободного пути электронов ( до нескольких метров) быстрота откачки инертных газов значительно увеличена.  [8]

В отличие от описанного выше ионно-геттерного насоса в орбитронном ионно-геттерном насосе благодаря увеличению длины свободного пути электронов ( до нескольких метров) быстрота откачки инертных газов значительно увеличена.  [9]

Так же, как и в предыдущей конструкции ионно-гет-терного насоса, откачка активных газов орбитронным ионно-геттерным насосом идет путем поглощения их пленкой титана, непрерывно наносимой на внутреннюю поверхность корпуса насоса.  [10]

В современных ионно-геттерных насосах обычно совмещены геттерные и ионные методы откачки. Принцип действия ионно-геттерных насосов основан на поглощении газов периодически или непрерывно наносимой пленкой титана и улучшении откачки инертных газов и углеводородов путем ионизации и улавливания положительных ионов. Испарение титана в ионно-геттерных насосах происходит, как правило, из твердой фазы.  [11]

В современных ионно-геттерных насосах обычно совмещены геттерные и ионные методы откачки. Принцип действия ионно-геттерных насосов основан на поглощении газов периодически или непрерывно наносимой пленкой титана и улучшении откачки инертных газов и углеводородов путем ионизации и улавливания положительных ионов. Испарение титана в ионно-геттерных насосах происходит, как правило, из твердой фазы.  [12]



Страницы:      1