Изготовление - маска
Cтраница 4
В этом случае заготовка для маски погружается в какую-либо диэлектрическую жидкость, а дуга для вытравливания создается между заготовкой и электродным шаблоном соответствующей формы. Этот способ использовался для изготовления масок из сплава инвар [4], но он довольно дооог. Края рельефа - рисурка на электроде по мере использования изнашиваются. [46]
Первый оптический способ очевиден и не нуждается в пояснениях. Его использование ограничено возможностями изготовления фазовых масок. Этот способ универсален и в настоящее время получил широкое применение. [47]
К материалам масок, удовлетворяющим перечисленным требованиям, относятся медные сплавы, сталь, молибден, бериллиевая бронза и др. Для изготовления масок используют фотохимический метод, электроэрозионную обработку, обработку электронным лучом. При выборе того или иного метода изготовления масок необходимо учитывать объем выпуска микросхем. [48]
 |
Изготовление защитной маски двумя способами.| Размеры заготовок для изготовления маски кинескопа. [49] |
После склеивания и сушки маску необходимо покрасить бронзовой или алюминиевой краской, а на внутреннюю поверхность окна надеть разрезанную по длине хлорвиниловую трубочку для обрамления. Для того чтобы зря не испортить картон, перед изготовлением маски сделайте выкройку из плотной бумаги. [50]
ЦЭВМ используется как при изготовлении фильтров по прямому оптическому методу, так и при голографн-ческом методе регистрации. В первом случае на машине синтезируют световые распределения, необходимые для изготовления амплитудных и фазовых масок, получаемых после отбеливания. Синтез амплитудных масок на ЦЭВМ обеспечивает возможность изготовления весьма сложных пространственных фильтров с высокой точностью и идентичностью характеристик. [51]
Установки мультиплицирования снабжаются высокоточными камерами для уменьшения и координатными столами для размещения фотографической пластины относительно изображения. Первая модель такой установки была построена Хелмером и Неллем [41] в 1959 г. для специальных целей - изготовления микроминиатюрных масок. Обычно на таких установках достигалось уменьшение 10: 1 или 4: 1 и. Рабочее поле изображения составляло около 10 мм и менее, достигалось разрешение от 200 до 400 лин / мм. Диапозитивы с уменьшением 10: 1 ( или 4: 1) изготавливаются с нижней подсветкой от точечного источника света с системой отражательных конденсорных линз. Устройство обеспечивает более однородное освещение и позволяет применять более короткие выдержки, чем при применении рассеянного света, но требует более точного совмещения по оптической оси. Фотопластина, закрепленная на координатном столе, перемещается в поперечном направлении с высокой точностью на направляющих, которые приводятся в движение с помощью направляющих винтов и двигателей. Эти сведения, однако, вызывают большие сомнения. Последовательность операций контролируется перфорированной лентой. [52]
Существенным недостатком монометаллических масок, получаемых способом фотохимического травления, является невысокая точность, связанная с тем, что, помимо травления вглубь, имеет место боковое травление. Двустороннее нанесение фоторезиста в сочетании с двусторонним травлением и введение соответствующих поправок на толщину линий при вычерчивании фотооригиналов повышает точность изготовления монометаллических масок, однако маски этого типа по точности изготовления уступают биметаллическим ( двухслойным) маскам. [53]
Постоянные ЗУ, программируемые при изготовлении, часто называют масочными ПЗУ, так как они, как правило, программируются на одном из последних технологических этапах производства с использованием фотошаблонов - масок. Маски задают места участков металлизации или прожигания при программировании ПЗУ. Изготовление масок дорого и поэтому производство масочных ПЗУ рентабельно при крупносерийном производ - a) стве. [54]
Для изготовления в заготовках масок ( из металла и сплавов) отверстий различной формы имеется несколько способов. Более высокая точность достигается при использовании соответствующего режущего и сверлильного инструмента. Изготовление сложных масок вручную является трудоемким и дорогим способом. Эта трудность преодолевается с помощью автоматизации обработки. Эта система состоит ыз координатного столика, который приводится в движение от электромотора с подачей в 0 125 мм и точностью отсчета 0 005 мм. На столике крепится алюминиевая заготовка, в которой вырезан рисунок требуемой формы. Режущий инструмент жестко закреплен на каретке, а каретка опускается на заготовки по команде от устройства для считывания с перфокарт. Созданные таким способом рисунки состоят из отверстий и линий в прямоугольной системе координат. Этот метод является экономичным и обеспечивает допуск по ширине линии 0 005 мм. [55]
Страницы: 1 2 3 4