Измерение - толщина - пленка
Cтраница 1
Измерение толщины пленки по изменению поляризации светового пучка; применяется для исследования пленок толщиной до 1 А. [1]
 |
Схема прибора для измерения толщины пленки воды емкостным методом ( а и сравнительные характеристики двух типов датчиков ( б ( разработаны. [2] |
Измерение толщин пленок осуществляется электрическими методами с помощью поверхностных датчиков. Электрические методы, основанные на измерении изменений импеданса датчика, разделяются на две группы: 1) емкостные J34 ], с помощью которых производятся измерения малых изменений реактивной составляющей импеданса датчика, обусловленных наличием пленки; 2) Методы электрической проводимости, в основе которых лежит измерение активной составляющей сопротивления пленки. Электрические методы выгодно отличаются от других методов измерения тем, что датчик, установленный в стенке канала, не возмущает пленку, а электрическая аппаратура позволяет регистрировать волновые процессы. [3]
Для измерения толщины пленки, нанесенной на немагнитные материалы ( цветные сплавы), используют прибор ТПН-IV, работающий на принципе использования вихревых токов. [4]
Для измерения толщины пленки удобным средством является приспособление, показанное на фиг. [5]
Для измерения толщины пленки при ее осаждении в вакууме применяют весы, в которых коромыслом - служит стеклянный капилляр, с приклеенными на концах тонкими кварцевыми нитями. На одном конце коромысла помещают подложку, а на другом - противовес. Массу пленки определяют по величине тока, необходимого для компенсации отклонения коромысла. Тарировкой весов установлено, что существует линейная зависимость между массой пленки и величиной компенсационного тока. [6]
Для измерения толщины прокатываемой пленки в каландре предусмотрена установка бесконтактных толщиномеров. Импульсы от датчиков измерения толщины пленки через систему автоматики передаются на механизм регулирования рабочего зазора между средним и нижним валками, чем поддерживается заданная толщина пленки в пределах допуска. [7]
Для измерения толщины немагнитной пленки на магнитной подложке с измерителя снимают колпачок, и толщиномер торцовой частью корпуса прижимают к поверхности пленки. Медленно вращая муфту, поднимают-ползун, который выдвигает шкалу из корпуса, до отрыва магнита от поверхности пленки. Момент отрыва определяют по легкому удару магнита через пружину о ползун. В этот момент прекращают вращение муфты, и на шкале читают показания прибора. По показаниям шкалы по номограмме определяют толщину измеряемой пленки. [8]
Для измерения толщины прокатываемой пленки в каландре предусмотрена установка бесконтактных толщиномеров. Импульсы от датчиков измерения толщины пленки через систему автоматики передаются на механизм регулирования рабочего зазора между средним и нижним валками, чем поддерживается заданная толщина пленки в пределах допуска. [9]
Для измерения толщины пленок цветного ряда применяются несколько точных методов. [10]
Пределы измерения толщины пленки составляют 10 - 5 - 10 3 мм. Принцип действия прибора для измерения толщины алюминиевой пленки основан на том, что при внесении электропроводной пленки в поле катушки контура генератора в металлической пленке возникают вихревые токи, в результате чего из-за увеличения потерь в контуре уменьшается амплитуда колебаний генератора. Изменение амплитуды колебаний генератора приводит к изменению величины сеточного тока лампы, измеряемого магнитоэлектрическим прибором. В качестве датчика сигнала используется колебательный контур LC, настроенный на фиксированную частоту и размещенный в измерительной выносной головке. Этот контур является анодной нагрузкой лампы Л3 и питается постоянным по величине анодным током этой лампы. При отсутствии вблизи контура металлической пленки потери в контуре минимальны и постоянны по величине. При внесении в поле контура металлического электропроводного слоя в последнем возникают вихревые токи, зависящие от толщины слоя металла и электропроводности его. При увеличении толщины слоя металла ( для данной марки металла) потери на вихревые токи, вносимые в контур, соответственно увеличиваются, что вызывает увеличение затухания контура. Амплитуда переменного напряжения в контуре уменьшается. [11]
Перед измерением толщины пленки на контрольных пластинах уточняется градуировка прибора на зачищенном до металлического блеска участке листа, что соответствует толщине пленки 0 1 мкм, а также на тонком материале ( фольге) с эталонной толщиной 15 мкм. [12]
При измерении толщины пленок на металле применяются два типа оптических методов. [13]
 |
Зависимость толщины пленки от величины заряда, измеренного интегратором тока для алюминия, никеля, хрома. [14] |
При измерении толщины пленки интегратором переменная составляющая ионного тока / поддерживается постоянной и равной 4 - 1СН0 а путем регулировки накала испарителя. Координатами точек на кривых рис. 3 - 69 являются значения интегрального заряда Q и соответствующие им толщины пленок, измеренные вне вакуумной системы с помощью интерференционного микроскопа. Точность интегрирования заряда проверяется путем измерения длительности испарения с помощью хронометра. [15]
Страницы: 1 2 3 4