Cтраница 1
Измерение ширины линии при регистрации на самописце производится обычно по эталонным образцам с известным расщеплением сверхтонкой структуры. Вначале записывается эталонный образец и определяется, таким образам, цена одного деления на ленте самописца в эрстедах. После этого легко определить ширину или расщепление исследуемой линии. [1]
Измерения ширины линии путем определения наибольшей разности хода, при которой еще происходят интерференционные явления, можно проводить и с многолучевыми интерферометрами. [2]
Для измерения ширины линий и сверхтонких расщеплений необходима точная калибровка развертки поля. Это легко осуществить, используя стандартные образцы, для которых положения линий точно известны. Стандартный образец помещают вместе с неизвестным веществом в двойной резонатор и записывают их спектры с помощью двухканального самописца. [3]
Метод измерения ширины линий наиболее надежен по сравнению с другими. Он заключается в определении точности воспроизведения маски и визуальной оценки изображения. Обычное измерение ширины линий состоит из серии 6 экспозиций и сравнения изображения на фоторезисте с изображением на маске. Если с помощью визуальной оценки поверхности слоя резиста достигнуто оптимальное время экспонирования, для дальнейшего его уточнения сравнивают ширину линий рельефа и шаблона. Допустимые погрешности ухода ширины линий зависят от размеров изображаемых структур и составляют для макролитографии ( полиграфии) 3 мкм, а для микроэлектроники примерно 0 1 мкм. Модификация этого приема состоит в экспонировании через клин оптических плотностей и измерении ширины линий для разных клиньев. [4]
Для прецезионного измерения ширины линии поглощения регистрировалась не сама линия, а ее первая производная, и ширина определялась как расстояние между четко выраженными максимумом и минимумом этой кривой. [5]
Методы измерений ширины линии излучения импульсных лазеров отличаются от методов, которыми пользуются в обычных спектральных измерениях, так как линии чрезвычайно узки и длина волны часто меняется за малое время наблюдения. [6]
При измерениях ширины линии в коллимированных молекулярных пучках ( разд. [7]
При измерениях ширин линий на спектрограммах рекомендуется пользоваться упрощенным приемом, позволяющим не измерять и не строить весь контур линии. Для этого нужно измерить почернение в максимуме линии и почернение фона, по кривой почернений найти интенсивность в максимуме линии и интенсивность фона и определить почернение, соответствующее половинной интенсивности. [8]
Следовательно, измерения ширины линии усиления усилителя не обязательно дадут допплеровскую ширину линии, если усилитель не насыщен, а величина общего усиления мала. Очевидно также, что измеренная полуширина линии усиления в режиме насыщения может быть равна допплеровской ширине только случайно ( фиг. [9]
Посредством метода измерения ширины линии установлено, что частицы имели диаметр, равный 84 - 150 А. [10]
Стандартный образец для измерения ширины линии в протонном спектре представляет собой 10 - 15 % - ный раствор о / / ио-дихлорбснзола ( ООСВ) в ацетоне. Он обычно поставляется обезгаженным и запаянным в ампулы разных диаметров. Как н многие другие тестовые образцы, ООСВ был выбран для этой цели много лет назад, когда существовали только приборы с низкой напряженностью поля н непрерывной разверткой. Он очень прочно укрепился в этой роли, но по нескольким причинам его все же нельзя считать идеальным для современных спектрометров с высоким полем. [11]
Таким образом, измерение ширины линии на МФ-2 сводится к двум отсчетам на шкале барабанчика микрофотометра. [12]
Таким образом, измерения ширины линии сводятся к двум отсчетам на шкале барабанчика микрофотометра. [13]
Выбор аппаратуры для измерения ширины линии излучения лазера зависит от длины волны, на которой работает лазер, и от того, насколько мала ширина линии излучения. В основном для таких измерений необходим элемент, разлагающий излучение по длинам волн, и подходящие средства регистрации излучения. [14]
С такой насадкой измерения ширины линии сводятся к двум отсчетам на барабанчике микрофотометра. [15]