Точное измерение - толщина
Cтраница 2
Интерференционные полосы равного хроматического порядка обладают некоторыми особенностями, не присущими другим видам полос. Интерференционные полосы равного хроматического порядка целесообразно использовать для точных измерений толщины плоскопараллельных пластичных или воздушных промежутков. [16]
 |
Расчет абсорбционности по методу базовой линии. [17] |
При анализе твердых образцов в виде пленок, пасты, таблеток возникают трудности, связанные с невозможностью воспроизведения толщины поглощающего слоя. В этих случаях часто прибегают к методам анализа, не требующим точного измерения толщины слоя или ее воспроизведения. Одним из наиболее распространенных является метод внутреннего стандарта. Спектр внутреннего стандарта не должен содержать много полос поглощения, его полосы не должны перекрывать аналитические полосы. Желательно, чтобы полосы поглощения внутреннего стандарта были достаточно узкими. [18]
 |
Схематическое изображение прибора для получения многолучевых полос Физо ( метод Толанского. [19] |
Эти регулировки очень утомительны. Исключительно удобную регулировку имеет ступенчатый интерферометр, описанный Клюте и Фаярдо U5J - Точное измерение толщины требует тщательной оценки долей полос. Эти доли могут быть измерены в микроскопе с помощью градуирован, кого объектива или, более точно и просто, на микрофотограмме системы полос. В любом случае, оценка требует проведения линейных измерений, точность которых зависит от четкости и резкости полос. Как указывалось ранее, для этого необходимо, чтобы оптические пластины ( пластины Физо) имели большой коэффициент отражения и малый коэффициент поглощения. Для высокой точности измерения толщины необходимыми условиями являются два других предварительных требования: 1) исключительная гладкость и ровность поверхности пленки и 2) очень хорошо коллимиро-ванный и монохроматизированный свет. Измерение толщины от 30 до 20000 А может быть практически осуществлено с точностью до 30 А. [20]
Преимуществом этого метода является возможность его использования для исследования смесей, не подчиняющихся закону Ламберта-Бера. Кроме того, в связи с тем, что при построении калибровочного графика и выполнении анализа используется одна и та же кювета, исключается необходимость точного измерения толщины поглощающего слоя и учета потерь за счет рассеяния и отражения. [21]
Толщина покрытия имеет важное значение в определении его физических характеристик. Одинаковая толщина покрытий на образцах является обязательным условием, особенно, когда разрушение покрытия оценивается по изменению этой характеристики. Для приготовления образцов, дающих воспроизводимые результаты, методы получения покрытия одинаковой толщины являются такими же важными, как и методы точного измерения толщины пленки. [22]
По влиянию легирующих элементов никакой систематики не усматривается, однако состояния обработки ( отжиг, закалка, термическое улучшение, холодная деформация) сказываются на скорости звука гораздо сильнее, чем легирующие элементы. Как правило, обе скорости звука под влиянием легирующих примесей уменьшаются; обычно это относится и к затуханию звука. Отклонениями от величины сг 5 93 км / с для многих практических целей можно пренебречь, но в случае точного измерения толщины стенки это недопустимо. Следовательно, в критических случаях, например при предельном угле для поверхностных или головных волн, это отклонение нужно учитывать. [23]
Выбор частоты зависит от диапазона измеряемых толщин пленок. Для тонких пленок и большой чувствительности используют высокие частоты. Применяя радиотехническую аппаратуру ( при / 20 МГц), точность измерения равна 5 - 20 нм. Приборы позволяют задавать требуемую толщину пленки, после достижения которой подается сигнал на прекращение напыления электромагнитной заслонкой. Для точного измерения толщины производят градуировку прибора. [24]
Страницы: 1 2