Cтраница 1
Радиационная и плазменная активация являются малоизученными, технически сложными, но перспективными средствами управления технологическими возможностями СОТС. Из плазменных видов активации особого внимания заслуживает активация плазмой коронного разряда. [1]
Плазменная активация процессов осаждения может быть осуществлена с помощью электродной и безэлектродной разрядных систем в оборудовании на базе трубчатых и колпаковых реакторов ХОГФ пониженного давления. [2]
Обозначается способ дополнительной активации процесса или реагента в реакторе: РЕ и PER - плазменная активация соответственно процесса и реагента; PhE и PhER - фотонная активация соответственно процесса и реагента; HDP и HDPR - активация плазмой высокой плотности соответственно процесса и реагента. [3]
Оборудование ХОГФ типа SCH DW DSC RP HTR RES CW РЕ и SCH DW DSC RP BJR IND CW РЕ ( см. табл. 4) с плазменной активацией ( ПА) процессов осаждения впервые было использовано в середине 70 - х годов для низкотемпературного осаждения пленок нитрида кремния ( ПА ХОГФ SiH4 / NH3 процесс) применительно к формированию слоев пассивации ИМС. [4]
УЧЭ наносится изоляционный слой толщиной в несколько мкм, затем низкоомные проводники монтажной схемы и в последнюю очередь сам тензорезистор. При этом применяются методы напыления в вакууме, плазменной активации паров требуемых химических веществ и пр. Все это позволяет существенно уменьшить размеры УЧЭ при одновременном уменьшении диапазона измерений. Однако сложность технологии изготовления требует значительных затрат на оборудование. Поэтому изготовление тонкопленочных тензорезисторов рентабельно только при условии их массового производства. [5]
Если дополнительной активации процесса ХОГФ нет, то для термической активации обозначается диапазон температур: LT - низкотемпературный; НТ - высокотемпературный. Быстрая термическая активация обозначается как RT. Если дополнительная активация есть, то процесс ХОГФ считается низкотемпературным, и обозначается вид дополнительной активации: РЕ - плазменная активация; HDP - активация плазмой высокой плотности; RE - радикальная активация; PhE - фотонная активация; СЕ - активация катализатором. [6]