Чистая комната

Cтраница 3

Следует отметить, что стоимость оборудования таких помещений высока. С целью экономии в полупроводниковом производстве применяют герметизированные линии, состоящие из скафандров ( боксов), внутри которых создают микроклимат. В отдельных случаях для создания более стерильных условий, чем в помещениях класса 3, пользуются так называемыми чистыми комнатами. Чистая комната - это отдельная камера, находящаяся внутри рабочего помещения класса 3, со стабилизированным климатом и ограниченным числом персонала, одетого в специальную одежду. В чистых комиатах проводят процессы прецизионной диффузии и фотолитографии. [31]

Отсюда ясно, что для повышения степени интеграции ИС надо снижать плотность дефектов на пластине. Это достигается совершенствованием каждого из этапов производства ИС. Необходимо стремиться к тому, чтобы кристаллическая структура эпитаксиальных пленок кремния была близкой к идеальной, улучшать технологию изготовления фотошаблонов, обеспечивать чистоту технологической среды ( чистые комнаты, специальные скафандры, содержащие не более 3 - 5 пылинок в литре воздуха), улучшать процессы химической обработки пластин и пр. Одна из важных мер такого рода - применение проекционной фотолитографии: изображение фотошаблона с помощью оптической системы проецируется на слой фоторезиста, нанесенный на пластину. Этим исключается постепенное стирание фотошаблона кремниевой пластиной и возникновение на нем новых дефектов. [32]

Одним из многих мероприятий, обеспечивающих повышение выхода годных приборов, в электронной промышленности является создание особо высокой чистоты атмосферы в помещениях, в которых выполняются технологические операции, чувствительные к воздействию различных аэрозолей и паров жидкостей. Параметры микроклимата чистой комнаты характеризуются следующими показателями: относительная влажность воздуха - 45 15 %; температура воздуха летом 23 2 С; зимой 20 2 С; норма запыленности внутри чистой комнаты 35 частиц в 1 л воздуха; размер регистрируемых частиц - 0 3 мкм. [33]

Классы чистоты технологических помещений. [35]

На участках с наиболее ответственными операциями для обеспыливания проводится целый комплекс мероприятий. Операторы снабжаются специальной одеждой. Им запрещается применять косметику. Перед входом в чистые помещения ( чистые комнаты) работники проходят по специальным вибрационным матам для обуви. Для переодевания отводятся специальные помещения. В проходных тамбурах между помещениями постоянно действуют воздушные души. [36]

Высокоэффективные воздушные фильтры почти полностью состоят из сверхтонкого стекловолокна и обычно обладают превосходными эксплутационными характеристиками, но, если для улучшения фильтрации диаметр волокон сделать меньше, значительно возрастает энергопотребление, чаще возникает засорение, фильтр становится подверженным действию различных химических веществ. Волокна здесь для улучшения эффективности сбора частиц заряжены статическим электричеством. По сравнению со стекловолоконным фильтром Eliton Super потребляет меньше энергии, обладает большей устойчивостью к воздействию химических веществ и значительно увеличенным сроком службы. Компания также поставляет фильтры для чистых комнат в основном для производителей полупроводников. [37]

Воздух струится со скоростью очень легкого ветерка через рабочий стол и далее мимо тех, кто работает за ним. Работающие могут быть в обычной одежде и даже при желании курить. Перхоть, табачный дым, графитовые крощки и другие образовавшиеся частицы перемещаются вместе с чистым воздухом, проходят через перфорированный пол и удаляются из помещения. Каждые 6 секунд в комнате происходит смена очень чистого воздуха. При этом не возникает условий для циркуляции частиц, в результате чего чистая комната Уитфилда по крайней мере в 1000 раз чище, чем самые чистые ее соперницы. [38]

Вне зависимости от того, какой фоторезист применяется, повсеместно соблюдаются некоторые меры предосторожности. Прежде всего это относится к окружающей среде, в которой выполняются технологические операции. Поскольку на поверхность подложки или слоя фоторезиста попадают частицы пыли и волокна, то они и являются возможной причиной образования проколов. Присутствие таких частиц в окружающей атмосфере должно быть сведено к минимуму. Поэтому особо чувствительные к загрязнению операции, а именно, очистка подложек, нанесение слоя фоторезиста, совмещение фотошаблонов и контроль осуществляются в чистых комнатах, скафандрах с ламинарным потоком. Химические операции, в особенности проявление, промывание и разжижение фоторезистов, в которых применяются органические растворители, приводят к образованию взрывоопасных, а часто даже и токсичных паров. Поэтому необходима соответствующая вентиляция рабочего пространства. [39]

Некоторые из лучших образцов одежды для чистых помещений могут стоить в 10 раз дороже, чем большая часть одежды аналогичного назначения. Однако покупка более дорогой, но качественной одежды для чистых помещений может оказаться более выгодной. Не таким уж необычным является положение, когда фирма платит несколько миллионов долларов или фунтов стерлингов за новую чистую комнату, в которой будут работать менее 10 человек. Затем торговый представитель фирмы должен будет закупить одежду для чистых помещений. Он может не знать особенностей ее назначения и отказаться от приобретения чуть более дорогой одежды, которая позволила бы добиться такого же снижения микробиологического и аэрозольного загрязнения, которое было получено за счет строительства новой чистой комнаты. [40]

О природе дефектов, влияющих на выход годных конденсаторов, известно немного. Однако установлено, что выбор материалов для изготовления тонкопленочных конденсаторов и тщательность проведения процессов оказывают определяющее влияние на выход. В настоящее время даже мелкозернистые полированные подложки из окиси алюминия не могут быть использованы для создания тонкопленочных конденсаторов из-за низких выходов. Другие факторы, определяющие выход годных конденсаторов, - выбор металлов для обкладок [19, 20] ( см. также табл. 2) и чистота условий технологического процесса. Очевидно, что при малых толщинах металлических обкладок и диэлектрических пленок - всего несколько тысяч ангстрем - загрязнения на подложке или различных слоях, образующих конденсатор, должны быть исключены. Химические загрязнения органическими пленками или неорганическими солями обычно сводятся к минимуму включением специальных операций очистки, в то время как внешние загрязнения могут быть существенно уменьшены проведением технологического процесса в условиях чистой комнаты с концентрацией пылинок от 30 до 150 на кубический метр [3, 25] для пылинок с размерами больше 0 3 мкм. [41]

На рабочих местах, где отсутствует значительная ионизация, часто накапливаются большие ионы. Наиболее ярко выражено это для герметизированных мест, которые находятся, например, в шахтах. Концентрация отрицательных ионов значительно уменьшается внутри помещений и в загрязненных и загашенных зонах. Одной из многих причин, почему концентрация отрицательных ионов уменьшается внутри помещений, является наличие системы кондиционирования воздуха. Отрицательные ионы захватываются потоками воздуха и воздушными фильтрами или притягиваются положительно заряженными поверхностями. Например, электронно-лучевые экраны и мониторы компьютеров положительно заряжены, создавая в непосредственной близости от себя дефицит отрицательных ионов. Системы фильтрации воздуха, спроектированные для чистых комнат, с очень низкими уровнями загрязнения по взвешенным частицам, также представляют собой зоны с отсутствием отрицательных ионов. [42]

Страницы: 1 2 3