Cтраница 4
После окисления кремния в сухом кислороде при 1 200 С поверхностная концентрация бора понижается до 0 6 от исходной, а после окисления при 1 000 С во влажном кислороде - до 0 2 от исходной поверхностной концентрации. В тех случаях, когда дополнительно к описанному происходит диффузия в окисел, поверхностная концентрация бора может понижаться более значительно и даже становится пренебрежимо малой. При этом расстояние до р - п-перехода на поверхности может быть существенно меньше глубины залегания его в объеме кремния. [46]
Кроме того, при сухом кислороде не происходит замерзания редукторов и вентилей, сильно затрудняющего производство работ при больших расходах кислорода и низких температурах окружающего воздуха. [47]
В случае окисления в сухом кислороде при 1000 С их концентрация достигает 105 см-2. Присутствие в окислительной среде паров воды делает процесс генерации дефектов еще более интенсивным. Низкотемпературная технология исходную структуру поверхностного слоя практически не изменяет. Эти факты являются однозначным доказательством доминирующего влияния дефектообразования в ходе самого термического окисления и, в частности, химического механизма как одного из наиболее вероятных. [48]
Жидкий тетрахлорэтилен окисляют в УФ-свете сухим кислородом ( 0 27 вес. Получают СС13СОС1 с выходом 75 - 85 % от теорет. [49]
Натрийтрцфенилолоно в жидком аммиаке окисляется сухим кислородом с образованием натриевой соли гидроокиси трифеннлолова. [50]
На него не оказывает заметного влияния сухой кислород до температуры 260 С, и только при красном калении 1 ( 600 - 800 С) он теряет свой блеск вследствие окисления Поверхности, которая становится серовато-голубоватого цвета. Свободная от кислорода вода не действует а галлий даже лри кипении. [51]
При 525 С и выше для сухого кислорода, а также воздуха был обнаружен [194, 266] второй линейный участок, но его проявлению мешает влага. [52]