Cтраница 5
Оптимальным параметром для контроля процесса является активная составляющая комплексной проводимости, которая монотонно уменьшается в ходе отверждения на 1 5 - 2 порядка ори / 3 - 50 МГц и обеспечивает хорошую воспроизводимость результатов. [61]