Cтраница 2
Следует отметить, что приведенные реакции не отражают механизмов протекания процессов и являются результирующими. Сравним характеристики пленок, получаемых термическим и плазмохи-мическим осаждением из парогазовой смеси. Скорость травления в разбавленных растворах плавиковой кислоты пленок нитрида кремния порядка 1 мкм / мин. Высокий коэффициент преломления этих пленок указывает, что в них присутствуют избыточные атомы кремния, а пониженный ( по сравнению со средним значением) - на наличие кислорода, который содержится в виде примеси до 2 ( мае. [16]