Расчет - вакуумная система
Cтраница 3
Излагаются сведения по кинетической теории газов, физике вакуума и процессам на поверхности твердых тел, соприкасающихся с газами. Приводятся методы расчета вакуумных систем, современные средства откачки, измерения общего и парциального давлений, методы обнаружения мест натекания. В отличие от первого издания 1975 г. во втором приводятся принципы построения вакуумных систем оборудования для нанесения тонких пленок и других установок полупроводникового производства. [31]
Во второе издание книги был внесен ряд дополнений почти во все основные разделы книги. Глава Элементы расчета вакуумных систем была переработана в сторону облегчения изложения. [32]
Излагаются сведения по кинетической теории газов, физике вакуума и процессам на поверхности твердых тел, соприкасающихся с газами. Приводятся методы расчета вакуумных систем, современные средства откачки, измерения общего и парциального давлений, методы обнаружения мест натекания. В отличие от первого издания 1975 г. во втором приводятся принципы построения вакуумных систем оборудования для нанесения тонких пленок и других установок полупроводникового производства. [33]
Расчет вакуумных систем бумагоделательных и картоноделательных машин является составной частью раздела Выбор и расчет основного и вспомогательного оборудования при выполнении курсового и дипломного проектирования. Перед выполнением расчета вакуумной системы необходимо рассчитать скорость машины, V, необрезную ширину бумаги или картона, В, и скомпоновать сеточную и прессовую части машины. [34]
В табл. 39 приведены значения давления в шлюзовых камерах и быстроты действия вакуумных насосов непрерывных агрегатов вакуумной металлизации. Изложение основ расчета вакуумных систем и подробное описание соответствующих откачных средств не входит в задачу настоящей книги. Эти вопросы достаточно полно освещены в литературе по вакуумной технике. [35]
В зависимости от характера исходных данных расчет вакуумных систем для откачки рабочих объемов технологических камер может быть сведен или к определению геометрических размеров вакуумпроводов при заданных насосах, или к подбору насосов для заданных трубопроводов. Иногда приходится решать эти задачи вместе. [36]
Для иллюстрации применения полученных в этой главе формул приводим расчет типовой вакуумной системы. [37]
Книга содержит описание современного промышленного и лабораторного вакуумного оборудования: вакуумных насосов, манометров, течеискателей и конструктивных элементов различных вакуумных систем. Предварительно сообщаются сведения из кинетической теории газов, необходимые Для расчета вакуумных систем и понимания процессов, происходящих в вакуумной аппаратуре. [38]
Следует отметить, что в конденсаторе бикарбонат разлагается незначительно, но при выпаривании мрр-ской воды происходит почти полное разложение. Значительное увеличение объема газа в результате разложения бикарбоната объясняет неточности, возникающие при расчете отсосных вакуумных систем. [39]
Рассмотренные нами различия в поведении газа с точки зрения проявления его внутреннего трения или вязкости играют важную роль в процессе течения газа по трубопроводу, соединяющему откачиваемый объем с насосом. Однако этот процесс связан также с рядом других свойств газа, и влияние степени вакуума на течение газа по трубке целесообразно рассмотреть в главе, посвященной расчету вакуумных систем. [40]
В распоряжении работников лаборатории должна быть необходимая техническая и справочная литература по масс-спектрометрии, а также технические материалы, относящиеся к контролируемым процессам или области исследований. В приложении 5 приведена таблица стабильных изотопов, содержащая данные о процентном содержании изотопов и точном значении атомных в есов; в приложении 6 - атомный вес элементов; в приложениях 2, 3, 4 - различные справочные материалы, касающиеся физических свойств некоторых газов и паров и расчета вакуумных систем; в приложении 7 представлены масс-спектры, записанные на различных масс-спектрометрах. [41]
Ввиду того что за один переплав удается удалить только 50 - 70 % содержащихся в металле газов, приходится иногда прибегать к двойному и даже тройному переплаву. Это обстоятельство также необходимо учитывать при выборе скорости откачки. Для расчета вакуумных систем необходимо также иметь данные о допустимом нате-кании газов в систему. [42]
В книге рассмотрены теория и расчет парогазо-струйных эжекторов. Приведены эксплуатационные характеристики одно - и многоступенчатых струйных насосов, а также рекомендация по их рациональному конструированию. Описаны режимы течения газа в вакуумных системах и методы измерения вакуума. Изложены основы расчета вакуумных систем с пароэжек-торными насосами. [43]
В книге обобщены и систематизированы результаты работы авторов во Всесоюзном научно-исследовательском институте металлургической теплотехники ( ВНИИМТ) по теории, расчету и конструированию паро - и газоструйных эжекторов, а также материалы, опубликованные в отечественной и зарубежной литературе. Разработанный метод расчета проверен на промышленных установках. Полученные экспериментальные данные позволяют правильно выбрать конструкцию проточной части аппаратов этого типа. Так как любая вакуумная система помимо насоса включает вакуум-провод и откачиваемый объем, то в книге рассмотрены режимы течения газа, методы расчета простейшей вакуумной системы с парозжекторными насосами и способы измерения вакуума. [44]
 |
Схема простейшей вакуумной системы. [45] |
Страницы: 1 2 3 4