Cтраница 2
Ионный источник масс-спектрометра в разрезе. [16] |
Типичный вольфрамовый катод имеет сечение около 1 29 - 10 - 4 см2 и требует 4 а для достижения температуры, при которой начинается эмиссия электронов. Ток электронов составляет обычно 250 мка, и около 25 % его пересекает область ионизации и достигает ловушки. [17]
Принципиальная схема плазмотронов фирмы Тетроникс.| Принципиальная схема плазмотронов фирмы Крупп. [18] |
Короткий стержневой вольфрамовый катод закреплен в водоохла-ждаемой обойме перед водоохлаждаемым медным соплом. Для газовой защиты катода используют аргон и другие инертные газы; этому способствует наличие защитного стального кожуха вокруг сопла. Плазмотрон может работать с источником электропитания переменного тока при использовании трехфазного тока. [19]
Катоды приборов с термоэлектронной эмиссией. [20] |
Применяются монометаллические вольфрамовые катоды и активированные катоды. Вольфрамовые катоды имеют рабочую температуру около 2300 С я расходуют для накала мощность от 0 1 до 0 5 вт на 1 ма тока эмиссии. [21]
Недостатком вольфрамового катода является большая работа выхода. Для уменьшения работы выхода вольфрамовую проволоку покрывают активным слоем. [22]
Устройство тиратрона с накаленным катодом. / - анод. 2 - сетка. 3 - тепловой эк 4.| Устройство тиратрона с холодным катодом. [23] |
Нагревание вольфрамового катода, активированного барием, цезием или их оксидами производится постоянным или переменным током. В последнем случае применяют катод косвенного накала, обладающий достаточной тепловой инерцией, чтобы исключить колебания плотности пучка эмиттированных электрснов. Анод и сетку изготовляют из никеля. [24]
Разрушение вольфрамового катода, наблюдавшееся в процессе экспериментов при разрушении формирующего сопла, можно считать следствием оплавления сопла. [25]
Схема технологического цикла электронной литографии. [26] |
Преимуществом вольфрамовых катодов является легкость их производства, стабильность по току и нечувствительность к изменению вакуума, они имеют максимальную интенсивность 1 - Ю5 - 3 - 105 А / ( см2 - ср), а обогащение их поверхности торием повышает их срок службы. Гексаборид лантана менее стабилен, но интенсивнее излучает [ 10б А / ( см2 - ср) ], требуя, однако, более высокий вакуум в рабочем пространстве. [27]
Конструкция вольфрамовых катодов. [28] |
Долговечность вольфрамовых катодов превышает 1000 час. [29]
Недокал вольфрамового катода увеличивает долговечность его, но уменьшает выпрямленный ток вследствие уменьшения эмиссии. Следует, однако, иметь в виду, что снижение накала может вызвать перегрузку анода. [30]