Cтраница 1
Криогенераторы работают по принципу обратного цикла Стирлинга или холодильных циклов Джиффор-да - Мак-Магона и Такониса и отличаются тем, что рабочее тело совершает свой цикл, оставаясь в газовой фазе. Насосы с криогенераторами более экономичны, так как здесь холод используется непосредственно в месте его получения. [1]
Криогенератор действует следующим образом. Газ, сжатый в полости компрессора до давления 3 5 - 4 МН / м2, поступает в водяной холодильник 3, где отводится теплота сжатия. Далее газ по каналу 5 проходит через сетчатый генератор 8, расположенный в вытеснителе. Затем поток газа раздваивается. Часть газа поступает в полость расширения 9 первой ступени, а другая часть, пройдя регенератор 13, поступает в полость расширения 12 второй ступени. [2]
Криогенератор работает следующим образом. Газ, сжатый компрессорным поршнем 18 до давления ( 35 - 40) 105 Па, поступает в водяной холодильник 3, где отводится теплота сжатия. Затем газ по каналу 5 проходит через сетчатый регенератор 8, расположенный в вытеснителе. Часть газа поступает в полость расширения 9 первой ступени, а другая часть, пройдя регенератор 13, поступает в полость расширения 12 второй ступени. [3]
При использовании криогенератора для создания крионасоса на его головке монтируется криопанель. Холод, вырабатываемый на двух температурных уровням ( 100 и 20 К), непосредственно сообщается криопанели. Криопанель, имеющая температуру 20 К, заключается внутри шевронных экранов, имеющих температуру ШОК. [4]
Насосы с криогенераторами используются для получения относительно невысокой быстроты откачки. Этот способ охлаждения удобен там, где возникают затруднения с доставкой жидких хладоагентов со стороны. С этой точки зрения целесообразным является использование криогенераторов, работающих по обратному циклу Стирлинга. С помощью одноступенчатых машин получают температуры около 50 К, с помощью двухступенчатых - 20 К, при этом время выхода на температурный уровень составляет 10 - 15 мин. [5]
Крионасос с аккумуляцией холодопроизводитель-ности криогенератора. [6] |
Для того, чтобы эффективно использовать криогенератор в течение всей работы крионасоса, его холодопроизводительность выбрана значительно ниже той тепловой нагрузки, которую необходимо отводить от конденсатора в начальный момент откачки. Работоспособность установки обеспечивается тем, что конденсатор обладает большой теплоемкостью. [7]
Крионасос на базе ГХМ. а - газовая холодильная. [8] |
Важным вопросом при разработке криовакуумной системы является выбор мощности криогенератора. [9]
Цилиндрическая криопанель со змеевиком.| Плоская криопанель. [10] |
В первом случае плоская криопанель с хорошим тепловым контактом непосредственно крепится к головке криогенератора. [11]
В криогенных насосах активные центры существуют все то время, пока с помощью криогенератора поддерживается требуемая температура сорбирующей поверхности. В адсорбционных, хемосорбционных и нмплантационных насосах активные центры естественным или искусственным путем формируются до начала откачки и в ее процессе расходуются ( нейтрализуются) со скоростью, пропорциональной падающему молекулярному потоку. [12]
Насос с криогене-ратором Такониса. [13] |
Через 80 мин достигается давление, равное Ы0 - 5 Па, и включается криогенератор. [14]
Принципиальная конструктивная схема такого насоса представлена на рис. 2 - 24 [2-24, 2-25], где в качестве криогенератора служит двухступенчатая газовая холодильная машина, работающая по циклу, идеальным прототипом которого является холодильный цикл Стирлинга. Компрессорный поршень 18 имеет диаметр 70 мм, ход поршня 30 мм. [15]