Алюминиевооксидные

Cтраница 1

Алюминиевооксидные ЭГД представляют большой интерес для многих областей науки и техники благодаря своим достоинствам: низкая стоимость, механическая прочность, простота изготовления, возможность получения взаимозаменяемых датчиков и их миниатюризации, малоинерционность, возможность измерений микровла-госодержаний газов и жидкостей и измерений при отрицательных температурах. [1]

Оксидная пленка ЭГД. [2]

Характеристики алюминиевооксидных ЭГД определяются главным образом свойствами оксидной пленки. [3]

Основным недостатком алюминиевооксидных ЭГД является их старение. [4]

Наибольшее практическое значение имеют сорбцион-ные датчики следующих типов: угольные, пьезокварцевые и алюминиевооксидные. [5]

Страницы: 1