Актиничное излучение

Cтраница 1

Актиничное излучение ( свет) - световое излучение, воздействующее на фоторезист, вызывающее протекание фотохимических реакций и изменение растворимости облученных участков покрытия. [1]

По-видимому, термин актиничное излучение восходит к актинию - родоначальнику ряда радиоактивных элементов - актиноидов, обладающих способностью вызывать изменения химических и физических свойств веществ путем испускания актиничных или актинических лучей. [2]

Экспонирование - облучение актиничным излучением пленки фоторезиста, сформированной на подложке, через фотошаблон или с помощью управляемого луча. [3]

Эти изменения мало заметны при действии актиничных излучений ( в обычном смысле этого слова), но они вызывают совершенно другие явления при действии лучей красной границы видимого спектра и близкой инфракрасной области. Так же как в случае облучения монокристаллов ( работы Гилыпа и Поля), эти лучи вызывают диспергирование серебра, возникшего в результате фотолитического разложения бромистого серебра более коротковолновыми излучениями. [4]

Заготоека для фотошаблона - стеклянная или другая прозрачная для актиничного излучения плоскопараллельная пластина определенных размеров со сформированным на ее поверхности сплошным непрозрачным для актиничного излучения слоем. [5]

Негативные фоторезисты под действием излучения, вызывающего активацию фоторезиста ( актиничного излучения), образуют защитные непрозрачные участки поверхности, соответствующие по рельефу печатному монтажу. [6]

Рабочая поверхность фотошаблона - поверхность фотошаблона, на которой находится непрозрачный для актиничного излучения слой, с помощью которого изображен рисунок элементов модуля. [7]

В то же время в случае азидов калия, бария и стронция содержание актиничного излучения в применяемом свете значительно влияет на форму кривой. Эту кривую следует рассматривать как результат наложения трех кривых; две из них отражают процессы, о которых уже упоминалось. Очевидно, роль излучения с длиной волны 1849 А является побочной, она имеет значение только в условиях, обеспечиваемых излучении с длиной волны 2537 А. [8]

Прозрачность некоторых материалов и жидкостных светофильтров. [9]

Особенности конструкции фотохимических реакторов и методика проведения фотолиза определяются необходимостью обеспечить наиболее полное поглощение актиничного излучения. [10]

Транспарентный ( цветной) фотошаблон - фотошаблон, на котором изображение элементов схем сформировано покрытием, не пропускающим актиничное излучение и пропускающим неактиничное ( видимая область спектра) для фоторезиста излучение. [11]

Травление фотохимическое - удаление материала подложки с заданных участков, с применением химически активных частиц, образующихся при воздействии актиничного излучения. [12]

Поливиниловый спирт хорошо растворяется в воде; при добавлении к его водному раствору бихромата аммония фоторезист приобретает чуствительность к актиничному излучению. [13]

Основные параметры фоторезистов. [14]

Фотошаблоны - стеклянные пластины или полимерные пленки со сформированным на их поверхности рисунком элементов схем из материала, не пропускающего актиничного излучения. Система элементов на фотошаблоне образует топологию одного из слоев структуры прибора или микросхемы. [15]

Страницы: 1 2