Измерение - скорость - испарение
Cтраница 3
Таким образом, полный цикл процесса изготовления ПМП состоит из следующих этапов: химической очистки подложек, установки подложек в загрузочную камеру и шлюзования, перевода в нагреватель и выдержки в течение 20 - 30 мин, измерения скорости испарения компонентов, расчета скорости протяжки кассет при заданной диафрагме ( или наоборот), подачи кассет в рабочую зону и конденсации пленок, охлаждения до 100 С и перевода в зону выгрузки, контроля параметров пленок. [31]
 |
Зависимость скорости топохимических реакций от времени в логарифмических координатах. [32] |
Предлагаемый метод основан на увлечении паров и является самым распространенным методом измерения коэффициента диффузии паров. Метод заключается в измерении скорости испарения жидкости из узкой трубки ( диаметром 3 - 6 мм), у конца которой пропускается непрерывно поток того газа, диффузию в который изучают. Скорость газового потока должна быть такой, чтобы у среза трубки обеспечивалась нулевая концентрация паров исследуемого вещества. [33]
 |
Схема установки для изучения кинетики испарения чистых жидкостей методом увлечения.| Определение высоты диффузи - ОННОГО пространства. [34] |
Коэффициент диффузии паров в воздух определяют методом увлечения. Он заключается в измерении скорости испарения жидкости из трубки диаметром 3 - 6 мм, у конца которой пропускается непрерывно поток газа, диффузию в который изучают. [35]
 |
Зависимость скорости топохимических реакций от времени в логарифмических координатах. [36] |
Предлагаемый метод основан на увлечении паров и является самым распространенным методом измерения коэффициента диффузии паров. Метод заключается в измерении скорости испарения жидкости из узкой трубки ( диаметром 3 - 6 мм), у конца которой пропускается непрерывно поток того газа, диффузию в который изучают. Скорость газового потока должна быть такой, чтобы у среза трубки обеспечивалась нулевая концентрация паров исследуемого вещества. [37]
Аналогичные результаты получены были в опытах с водяными каплями при повышенных ( до 220) температурах, хотя разброс экспериментальных точек был, конечно, больше. От описанного выше метода измерения скорости испарения в данном случае пришлось отказаться: капли подвешивались на нитях и так как они испарялись очень быстро, с них делались микрокиноснимки. [38]
 |
Схема установки для. [39] |
Если пары исследуемого вещества хорошо сорбируются активированным углем, то для измерения коэффициента диффузии можно применять адсорбционный метод. Этот метод основан на измерении скорости испарения из трубки жидкости, пары которой адсорбируются углем, расположенным над трубкой. [40]
Свойства металлов при высоких температурах определяются различными методами. Одним из таких методов является измерение скорости испарения металла при повышенных температурах, например с нагреваемой электрическим током нити накала. [41]
Важным фактором при использовании метода Лэиг-мюра является правильный контроль за температурой поверхности испарения. Температурный фактор часто является одним из основных источников отиибо К измерений скоростей испарения. Температура ячейки испарения обычно контролируется термопарой или оптическим пирометром. Термопара помещается непосредственно под испаряемым образцом или в отверстие в нем, как можно ближе к поверхности испарения. Однако с повышением температуры образца резко возрастают излучаемая мощность и скорость испарения с поверхности образца, что приводит к охлаждению поверхности и увеличению разности между температурой, показываемой термопарой, и истинной температурой поверхности вещества. Эта разность тем больше, чем дальше расположен спай термопары от поверхности, чем меньше теплопроводность образца и чем больше скорость его испарения и излучательна я способность. Из проведенных нами замеров следует, что разность температур различных участков поверхности и основной массы образца может различаться от единиц до десятков градусов. Поэтому желательно измерение температуры непосредственно по-оерхности испарения. Выше - 600 это возможно при помощи оптического пирометра. Однако фактические ошибки измерений при этом могут значительно превышать ошибки, обозначенные в паспорте пирометра. Это происходит из-за отсутствия точных значений коэффициентов излучений для многих веществ в широком температурном диапазоне и из-за присутствия на поверхности испарения экранирующих пленок и других загрязнений, имеющих резко отличные коэффициенты излучения. Модель черного тела, при помощи которой можно было бы получать истинную температуру поверхности, выполнить иногда для образца чрезвычайно сложно. [42]
Сэбба и Бриско 1 описывают прибор, названный ими испарителем, предназчаченный для измерений скорости испарения воды в сухой воздух, пропускаемый над ее поверхностью, при одновременном измерении поверхностного давления. Наблюдаемая ск рость испарения уменьшается с повышением поверхностного давления, причем скорость этого уменьшения несколько изменяется в зависимости от вещества пленки. [43]
Метод электронной бомбардировки дает возможность определять скорость испарения в течение процесса осаждения. Ускоряющий потенциал 3 - 5 кв может быть использован не только для улучшения сцепления между подложкой и наносимым материалом, но и для измерения скорости испарения. Так как ионы испаряемого вещества непрерывно бомбардируют подложку, то в цепи, соединяющей подложку с источником высокого напряжения, течет небольшой ток. [44]
Джекел и Пеперли ( Jaec-kel, Peperle, 1961 ] использовали метод торзионных весов, аналогичный методу Райдила и Виггинса [ Rideal, Wiggins, 1951 ] для измерения скоростей испарения серы. Результаты этой работы уже были приведены в табл. V.2. При экспериментах с серой авторы использовали значительно более высокие температуры, чем Райдил и Виггинс, а также Китченер и Стрикленд-Констэбл, что сделало более трудным оценку температуры поверхности. [45]
Страницы: 1 2 3 4