Измерение - ионный ток
Cтраница 5
Относительные количества ионов разных масс определяются измерением соответствующих ионных токов. [61]
Такой однокаскадный усилитель постоянного тока используется для измерения ионного тока в вакуумметре ВИ-3. Измерение малых ионных токов в этом случае ограничено величиной шунтирующего сопротивления Re участка сетка - катод, которое для обычных радиоламп не превышает 109 ом. Причина такого малого сопротивления участка сетка - катод состоит в наличии сеточных токов лампы. [62]
Действие основано на ионизации молекул газа и измерении ионного тока, к-рый является ф-цией давления. Ионный ток в цепи коллектора служит мерой давления газа. Диапазон измерений ( 10 - - 1 Па) ограничен: при высоких давлениях-малым сроком службы и нарушением линейности градуировочной характеристики из-за возрастающей вероятности объемной рекомбинации ионов и увеличения тока вторичных ионов, также участвующих в ионизации; при низких давлениях-остаточным фоновым током коллектора, к-рый не зависит от давления. [63]
 |
Измерение скорости напыления ионизационным манометром. [64] |
При ионизационном методе скорость напыления вещества определяется посредством измерения ионного тока паров этого вещества. Перед манометром помещается заслонка, прерывающая поток паров с частотой 10 - 20 Гц. Пары вещества импульсами попадают в объем ионизационного манометра. В цепи коллектора манометра протекают два тока: постоянный ионный, характеризующий давление в вакуумной системе, и переменный, характеризующий режим испарения. Переменная составляющая ионного тока усиливается узкополосным усилителем и является мерой скорости испарения. [65]
Страницы: 1 2 3 4 5