Cтраница 3
Ультразвуковая сварка не требует нагрева ножки. При ультразвуковом воздействии на свариваемые материалы ( прежде всего на микропровод или электродный вывод) пластически деформируются поверхности контакта между микропроводом и контактной площадкой, образуя большую поверхность соединения между ними. При этом ультразвук способствует удалению окисных пленок и с его помощью образуется прочная межмолекулярная связь свариваемых металлов. [31]
Поскольку термокомпрессию наиболее часто используют для присоединения выводов, остановимся на этом методе более подробно. Процесс термокомпрессии происходит при воздействии повышенной температуры и давления, без применения припоя и плавления. При термокомпрессии один из соединяемых металлов ( обычно электродный вывод) должен быть обязательно пластичным, особенно при нагреве. Температура термокомпрессии не должна превышать температуру образования эвтектики соединяемых материалов. Оптимальной считают температуру, близкую к температуре отпуска или отжига более пластичного металла. [32]
Процесс анодного окисления проводят сразу после травления и тщательной промывки кристаллов с р - п переходами. Для проведения анодного окисления кристаллы загружают в специальные кассеты, позволяющие использовать кристаллы кремния в качестве анода. Конструкция кассет зависит от формы кристаллов и конфигурации электродных выводов. Наибольшее распространение получило анодное окисление диффузионных структур с гальваническими золотыми контактами к р - п сторонам, так как конфигурация - кристаллов проста, а золотые контакты не подвергаются окислению даже атомарным кислородом. Следовательно, значительно упрощается конструкция кассет и отпадает необходимость в защите невыпрямляющих контактов как в период травления, так и в процессе анодного окисления. [33]
Особым многообразием отличается инструмент для присоединения электродных выводов. Каждая установка для присоединения выводов имеет инструмент, пригодный только для нее. Конструкция инструмента определяется также условиями эксплуатации и зависит от размеров электродных выводов и контактных площадок, а также от свойств присоединяемых материалов и других специфических условий процессов. [34]
С и процесс проводят в атмосфере азота. Под действием усилия и температуры микропроволока деформируется и прочно присоединяется к контактной площадке. Затем капилляр отводят в сторону, разматывая микропроволоку с катушки ( рис. 110, г), термокомпрессируют электродный вывод к выводу ножки 5 ( рис. ПО, д), после чего капилляр поднимают ( рис. ПО, е), а вывод обрезают ножницами. [35]