Комплект - фотошаблон
Cтраница 1
Комплект фотошаблонов считается частью технологической оснастки производства ИС. При повреждении одного фотошаблона, как правило, приходится заменять весь комплект, так как использование одного мультиплицированного фотошаблона может привести к несовмещению его с остальными. Эмульсионный слой фотошаблона быстро изнашивается, так как при совмещении фотошаблон эмульсионным слоем накладывается на кремниевую пластину, покрытую фоторезистом, и плотно прижимается. В массовом производстве ИС пользуются хромированными фотошаблонами, которые значительно долговечнее эмульсионных. [1]
Комплекты фотошаблонов, изготовленные на этом фотоповторителе, используют как при разработке ИМС, так и при их массовом производстве. Фотоповторитель оснащен объективами, позволяющими получить на фотошаблонах элементы размером 1 5 - 2 мкм. В целях защиты от внешних вибраций фотоповторитель оснащен пневматической системой. В системе управления предусмотрен набор программ с центрального пульта. [2]
 |
Координатограф для вычерчивания оригиналов. [3] |
Все оригиналы комплекта фотошаблонов одной ИС должны быть уменьшены строго с одинаковым масштабом, в противном случае при совмещении рисунков на пластине не получится нужной конфигурации. [4]
Совмещаемость - параметр комплекта фотошаблонов, определяющий точность расположения элементов схемы при их последовательном воспроизведении на рабочей подложке. [5]
 |
Последовательность выполнения основных операций изготовления БИС по методу избирательного монтажа. [6] |
Таким же способом изготовляют комплект фотошаблонов для второго и третьего уровней металлизации. [7]
 |
Агрегат фотолитографии.| Вакуумная установка. [8] |
При изготовлении полупроводниковой ИС используется комплект фотошаблонов с различным рисунком. [9]
Многоместные фотоштампы позволяют достичь совмещаемости комплекта фотошаблонов 1 мкм и заметно повысить производительность процесса мультипликации. [10]
Обычно для создания устройств на ЦМД используется комплект фотошаблонов, состоящий из трех слоев. [11]
Исходным инструментом для изготовления всех типов ИС является комплект фотошаблонов. [12]
 |
Принципиальная схема од - Эта пластина механически нопозяционного фотоповторителя. [13] |
Для повышения производительности процесса мультипликации и повышения совмещаемости комплекта фотошаблонов используются М ногопозиционные фотоповторители. [14]
Основной инструмент при создании дифракционных элементов - фотошаблон или комплект фотошаблонов, если элемент должен иметь структуру с многоступенчатым профилем. Поэтому для изготовления фотошаблона нужно прежде всего найти уравнение изофаз, в которое как параметр входила бы величина эйконала записи. Когда изофазы найдены, рисуют комплект фотошаблонов для изготовления многоступенчатого ДОЭ, что можно делать различным образом. Применяемый в настоящее время, по-видимому, наиболее рациональный способ состоит в следующем. [15]
Страницы: 1 2 3