Cтраница 2
При реактивном ионном распылении протекают реакции с осаждаемым веществом. В вакуумную камеру вводят дозированное количество реактивного газа ( О2, N2, CO, CH4) для того, чтобы он в зависимости от концентрации вступил в химическое соединение с распыляемым веществом или образовал с ним твердый раствор. Твердые растворы реактивных газов в металле пленки могут достигать более высоких концентраций, чем в массивных образцах, что позволяет получать пленки с необычными и полезными свойствами. Легирование тантала малым количеством азота ( до 5 %) является средством изменения микроструктуры пленок. [16]
Сплавы тантала, как и ниобиевые сплавы, относятся к группе относительно пластичных. Тантал, полученный электродуговой плавкой и, особенно, электронно-лучевой деформируется даже при комнатной температуре. Однако он обладает высокой активностью к взаимодействию с газами с образованием нитридов, оксидов, карбидов, гидридов, что отрицательно сказывается на свойствах готовых изделий, сварных и паяных соединений. Легирование тантала W, Zr, Hf и другими элементами способствует его упрочнению, но снижает пластичность. [17]
Последнее согласуется с данными [ 7, с. Кислород в тантале при исследованных содержаниях, вероятнее всего, находится в виде мелкодисперсных включений низших окислов, которые при попадании в анодную пленку оказывают действие, аналогичное окислам титана и циркония. В пользу вышерассмотренного механизма свидетельствует то, что при анодном окислении тантала, легированного вольфрамом, молибденом и углеродом [5], величина коэффициента В была такой же, как и при окислении чистого тантала. При легировании тантала кислородом совместно с титаном и цирконием изменение содержания последних на величину В влияния не оказывало. [18]
Наиболее благоприятные результаты достигнуты при легировании тантала элементами, образующими твердые р-ры замещения. [19]
Элементы VA группы ( V, Mb, Та) допускают глубокое легирование, что может существенно изменить их коррозионную стойкость. Впрочем, эти металлы легируют в самых различных целях. Наименее коррозионно-стойким из указанных трех металлов является ванадий. Легируют ванадий для повышения его коррозионной стойкости. Тантал - самый коррозион-ностойкий тугоплавкий металл, но и самый дорогой. При легировании тантала должны использоваться такие элементы, которые не снижают или в минимальной степени снижают коррозионную стойкость, но уменьшают стоимость сплава по сравнению с чистым танталом. [20]