Изготовление - тонкая пленка
Cтраница 3
Известно несколько методов изготовления тонких магнитных пленок ( табл. VII. Из большого числа известных методов изготовления ферромагнитных тонких пленок до сих пор использовались лишь немногие ( помеченные в табл. VIII. В настоящее время наиболее употребительным является метод напыления. [31]
В последние годы успешно развиваются нетрадиционные методы получения полимеров, в виде пленок и покрытий. Прежде всего следует отметить метод изготовления тонких пленок полимеров из паров органических и элементоргани-ческих соединений в плазме тлеющего разряда. Особенностью этого метода является возможность получения очень тонких ( толщиной в сотни ангстрем), сплошных пленок полимеров органического и неорганического происхождения. [32]
Естественным развитием методов, связанных с изготовлением микромодулей, является создание функциональных пленочных схем на подложках. Целый ряд фирм использует для этого технологию изготовления тонких пленок. [33]
 |
Блок-схема установки для электронно-лучевой обработки. [34] |
Метод наиболее перспективен при обработке малых отверстий ( диаметром 1 мм D 10 мк ], прорезке пазов и разрезке деталей из тантала, вольфрама, молибдена, гафния, циркония, урана. Электронно-лучевая обработка успешно применена для вырезания микродиодов, изготовления тонких пленок и сеток из медной фольги. [35]
 |
Схема установки вакуумного напыления. [36] |
Тонкие пленки должны иметь хорошую адгезию с подложкой и другими пленками, равномерность толщины и однородность структуры. Применяется несколько методов нанесения тонких пленок: вакуумное испарение, катодное распыление, электролитическое осаждение с применением фотолитографии и др. Изготовление тонких пленок проводится в сверхчистой среде в вакуумной камере. [37]
Благодаря применению универсальных шарнирных шпинделей 4 такие схемы допускают перекос осей валков 5 каландра для компенсации прогиба. В машинах, предназначенных для изготовления толстых листов и линолеума, можно применять простую схему общего привода от одного электродвигателя с фрикционными колесами; приводами с блок-редукторами снабжают машины для изготовления тонких пленок. На рис. 14 - IV показан блок-редуктор БК-3-720 для привода треугольного каландра. Корпус редуктора выполнен с тремя разъемами. Зубчатые колеса выполнены с косыми зубьями. Валы установлены на сферических роликоподшипниках. [38]
Создание интегральных микросхем под требуемые размеры современных индикаторов находится за пределами возможностей ближайшего будущего в технологии кремниевых полупроводников. Технология тонких пленок, по-видимому, должна способствовать созданию той основы, на которой могут быть созданы разнообразные интегральные индикаторы [19, 20], имеющие поверхность, сравнимую с поверхностью экрана ЭЛП. В то же время использование технологии изготовления тонких пленок позволит получить достаточное геометрическое разрешение, чтобы создать матрицы, плотность строк на которых не уступает разрешающей способности глаза. Потребность в высоком напряжении у тонкопленочных устройств позволяет проводить их сопряжение со всеми воспроизводящими материалами, как используемыми в. Однако эти устройства в меньшей степени подходят для возбуждения материалов, работающих при значительных токах и низких напряжениях. Эта проблема является серьезной даже не для самих тоикопленочных устройств, которые могут быть спроектированы на потребление весьма значительных токов ( приближающихся к 40 мА на 1 мм ширины канала), а для по-лосковых шин. [39]
Для сравнения в таблицу включены также методы вакуумного испарения и ионного распыления. Сама по себе приведенная таблица еще не дает возможности выбрать оптимальный способ изготовления тонких пленок. Выбор способа зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек я часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В табл. 7 подведен итог по вопросу применимости обсужденных методов в микроэлектронике. Заштрихованные клетки таблицы обозначают принципиальную возможность использования метода, клетки, заштрихованные крест-накрест - широкое практическое применение. [40]
Если же предварительными опытами определить вязкость расплава, то формование материала на экструдере не представляет трудностей. Продукт вальцевания прежде всего размалывается в зерна необходимой величины. Зерна, защищенные от доступа влаги, можно перерабатывать, применяя охлаждаемые водой шнеки, в трубы и шланги с равномерной толщиной стенок, которые являются достаточно гибкими и представляют интерес из-за своей устойчивости по отношению к растворителям и горючим веществам. Этот тип полиамидов пригоден также и для изготовления тонкой пленки по так называемому способу раздувания. Если, например, выходящий из сопла пластичный шланг закрыть с выходящего конца, раздуть его через отверстие в сопле инертным газом, например азотом, и полученное при этом цеппелино-подобное образование направить в приемное приспособление, то получится полиамидный пленочный рукав, который можно применять как таковой или разрезав его вдоль. [41]
В настоящее время все синтетические пленки дороже бумаги и лишь наиболее дешевые из них приближаются по стоимости к бумаге. Это является одной из причин, затрудняющих замену бумаги пленкой. В тех случаях, когда пленка позволяет снизить размеры конденсатора и сократить количество используемого диэлектрика, может оказаться, что стоимость готового пленочного конденсатора будет ниже стоимости бумажного, хотя стоимость 1 кглленки выше, чем стоимость бумаги. Другой причиной, задерживающей внедрение пленок, является относительная сложность изготовления тонкой пленки с однородной толщиной и отсутствием дефектов, требующая обычно разработки специального оборудования применительно к данному типу исходного полимера. Поэтому освоение производства исходного полимера еще не означает возможности быстрого получения соответствующей пленки, промышленный выпуск которой иногда начинается лишь ряд лет спустя после начала производства исходного полимера. [42]
Каландрование можно определить, как непрерывное продавлива-ние полимерного материала через зазор между вращающимися друг другу навстречу обогреваемыми полыми цилиндрами, при котором образуется бесконечный тонкий лист или пленка. В отличие от вальцевания при каландровании полимерный материал проходит через каждый зазор только один раз. Поэтому для получения листа или пленки с гладкой поверхностью приходится пропускать ее через несколько ( обычно два или три) зазоров. Каландрование широко применяется в резиновой промышленности и промышленности переработки пластмасс для изготовления тонких пленок и листов из полимерного материала, а также для наложения слоя полимерного материала на ткань. [43]
При выборе основы необходимо предусмотреть возможность легкого отделения пленки, а иногда такая основа, как стекло, может даже покрываться тонким слоем, например растворимой в воде смолы, которая, однако, не растворяется в растворителе полимера. Может оказаться, что некоторые растворы полимеров при высыхании дают пленку, гораздо более толстую по краям, чем в середине. Это происходит в результате влияния на поверхностное натяжение неоднородности концентрации или температуры. В таких случаях для уменьшения времени, в течение которого могут иметь место эти эффекты, следует использовать для получения пленки возможно более концентрированные растворы с учетом необходимой толщины. При изготовлении тонких пленок, которые могут использоваться, например, в микроспектрометрии, можно наносить их испарением раствора на пластинке из прозрачного в инфракрасной области материала. При этом пленка оставляется на такой основе и для проведения измерений. Такая методика удобна еще и потому, что указанная основа имеет достаточную толщину и в спектре не появляется интерференционных полос. [44]
Все двоякопреломляющие кристаллы в той или иной степени поглощают свет. Это поглощение анизотропно: показатель поглощения среды а зависит от ориентации электрического вектора световой волны и от направления распространения света в кристалле, а также от длины волны. Это явление называется дихроизмом или плеохроизмом, так как проявляется в различной окраске кристаллов по разным направлениям. Примером сильно дихроичного кристалла является турмалин - одноосный кристалл, в котором обыкновенный луч поглощается во много раз сильнее необыкновенного. Еще более ярко выраженным дихроизмом обладают кристаллы герапатита, которые используют для изготовления тонких пленок, преобразующих естественный свет в линейно поляризованный и называемых поляроидами. [45]
Страницы: 1 2 3 4