Изготовление - фотошаблон
Cтраница 2
При изготовлении фотошаблонов большое значение имеет правильная фоторепродукция оригинала. Кроме того, используемые объективы должны быть с максимальным углом захвата и высокой разрешающей способностью. [16]
При изготовлении фотошаблонов прибегают процессу избирательного травления хрома. Рекомендуемым травителем является 50 % - ный раствор соляной кислоты. [17]
При изготовлении фотошаблона для каждой области необходим чертеж топологии на определенный слой. Разработка такого чертежа предшествует созданию чертежей отдельных слоев. [18]
При изготовлении промежуточного фотошаблона размеры рисунка увеличиваются в 5 - 10 раз, поэтому процесс реализуется легко. Однако, когда на подложке диаметром, например, 200 мм непосредственно формируется рисунок с размерами элементов менее 0 5 мкм, который нельзя получить на установке фотоэкспонирования, то требования ко всем системам установки электронно-лучевого экспонирования возрастают. Установка рентгенолучевого экспонирования, в которой почти невозможно провести экспонирование с уменьшением размеров элементов, сбудет рассмотрена позже. [19]
Заключительной операцией изготовления фотошаблонов является их контроль, который включает измерение линейных размеров и оптической плотности непрозрачных участков, а также оценку дефектов и их количества. [20]
 |
Установка для проведения химических процессов с фотопластинами. [21] |
Типичный процесс изготовления фотошаблонов для БИС включает 11 операций: 1) удаление противоореоль-ного слоя; 2) промывка; 3) проявление; 4) остановка проявления; 5) закрепление; 6) промывка; 7) удаление остатков противоореольного слоя; 8) промывка; 9) обработка в 50 % - ном спирте; 10) обработка в 90 % - ном спирте; 11) сушка. [22]
Внедрение автоматизации изготовления фотошаблонов и масок не сопряжено с затратами на разработку дополнительных прикладных пакетов программ, поэтому осуществляется быстро и эффективно. [23]
 |
Схема работы координатографа при получении фотошаблонов печатных плат. [24] |
Если при изготовлении фотошаблонов используется обычный чертеж ПП, то он с помощью координатоскопа ( Минск-2009) кодируется на перфоленту. [25]
Вторая технологическая схема изготовления фотошаблонов, приходящая а смену первой, состоит из двух ступеней - изготовление оригинала и мультиплицирования. [26]
Все операции по изготовлению фотошаблонов происходят в особо чистых помещениях, так как попадание пылинок на поле изображения приводит к возникновению дефектов в ИС. Колебания температуры, влажности и давления также ограничиваются жесткими допусками. Это необходимо для обеспечения требуемой точности совпадения всех фотошаблонов комплекта. [27]
Применение этого принципа для изготовления фотошаблонов привело к созданию установок для изготовления оригиналов с помощью вычислительных машин, как это описано в разд. [28]
В качестве материала для изготовления фотошаблона применяют стекло, на одну поверхность которого нанесен слой фотоэмульсии. Этот слой непрочен и допускает от 25 до 50 совмещений. Поэтому в случае серийного изготовления полупроводниковых интегральных микросхем необходимо иметь достаточно производительную технологию изготовления фотошаблонов. [29]
Координатограф КПА-1200 предназначен для изготовления фотошаблонов микросхем и печатных плат. В состав координатографа входят: FS-1501, пульт управления, координатный стол с размерами рабочего поля 1200X1200 мм, устройство управления с блоками ввода информации, операционное устройство, интерполятор, блоки задания скоростей, обработки информации, ориентации инструмента, технологических операций, управления приводом, цифровой индикации, а также центрального управления. [30]
Страницы: 1 2 3 4 5