Измерение - поверхностное сопротивление
Cтраница 3
С этой целью измерения поверхностного сопротивления ( проводимости) чередуют со снятием тонких поверхностных слоев кремния ( анодное окисление и травление SiO2) вплоть до дна р-п - перехода. [31]
 |
Схема измерения поверхностного сопротивления.| Образец гребенчатого типа для измерения поверхностного сопротивления. [32] |
В большинстве случаев образцы не соответствуют по конфигурации проводникам платы, так как линии на образце, как правило, меньше по ширине и расположены ближе друг к другу, чем на плате. Однако при необходимости можно использовать для измерений поверхностного сопротивления любое число подобных образцов; так как на образце линии узкие и расположены близко друг к другу, необходимо обратить внимание на их четкость и отсутствие повреждений. [33]
Из изложенного видно, что понятие антистатический материал не является полностью однозначным, оно тесно связано с применяемыми методами измерения. При максимальных требованиях к качеству антистатической обработки пластмасс надежные результаты дает измерение поверхностного сопротивления или скорости зарядки испытуемых образцов. Если поверхностное сопротивление падает ниже 1010 ом, то электростатический заряд исчезает прежде, чем успеет проявиться какое-либо нежелательное действие его. [34]
Приборы ПКП и СВП позволяют контролировать также параметры эпитаксиальных слоев на исходной полупроводниковой основе. Параметры диффузионных структур силовых кремниевых приборов, кремниевых и германиевых интегральных схем и кремниевых солнечных элементов контролируются радиоволновыми и вихретоковыми приборами на разных стадиях технологического процесса. Радиоволновые приборы серии СВП применяют для измерения поверхностного сопротивления Rs диффузионных слоев, например р - р - слоев силовых приборов, р - р-п - п - структур. Значение Rs низкоомных диффузионных слоев кремниевьк тири-сторных структур определяют приборами типа ВИИС. Все описанные измерения выполняются с помощью предварительно построенных по образцам градуировочных графиков. [35]
На рис. 44 показано использование охранных электродов для измерения объемного и поверхностного электрических сопротивлений. На охранном электроде создается тот же потенциал, что и на измерительном, но ток, идущий к охранному электроду, не учитывается при вычислении сопротивления образца. Этим методом удается в значительной степени разделить поверхностное и объемное сопротивления и устранить влияние растекания тока. Однако надежно измерить истинное поверхностное сопротивление очень трудно, если вообще возможно, и подсоединение охранных электродов к тыловой стороне образца ( рис. 44 6) лишь частично устраняет влияние объемного тока при измерении поверхностного сопротивления. Более того, при измерении поверхностного сопротивления очень тонких образцов может ошибочно наблюдаться кажущееся повышение сопротивления из-за того, что часть поверхностных токов начнет уходить на охранный электрод. В условиях стандартной методики измерения сопротивления оговорены также и многочисленные другие факторы, существенные для получения воспроизводимых результатов. Общие принципы измерения электрических сопротивлений могут быть применены и к изоляции, изготовленной из пластмассы. Несмотря на кажущуюся простоту, при измерении электрического сопротивления обычно возникает больше экспериментальных ошибок, чем при измерении любых других электрических величин. [36]
На рис. 44 показано использование охранных электродов для измерения объемного и поверхностного электрических сопротивлений. На охранном электроде создается тот же потенциал, что и на измерительном, но ток, идущий к охранному электроду, не учитывается при вычислении сопротивления образца. Этим методом удается в значительной степени разделить поверхностное и объемное сопротивления и устранить влияние растекания тока. Однако надежно измерить истинное поверхностное сопротивление очень трудно, если вообще возможно, и подсоединение охранных электродов к тыловой стороне образца ( рис. 44 6) лишь частично устраняет влияние объемного тока при измерении поверхностного сопротивления. Более того, при измерении поверхностного сопротивления очень тонких образцов может ошибочно наблюдаться кажущееся повышение сопротивления из-за того, что часть поверхностных токов начнет уходить на охранный электрод. В условиях стандартной методики измерения сопротивления оговорены также и многочисленные другие факторы, существенные для получения воспроизводимых результатов. Общие принципы измерения электрических сопротивлений могут быть применены и к изоляции, изготовленной из пластмассы. Несмотря на кажущуюся простоту, при измерении электрического сопротивления обычно возникает больше экспериментальных ошибок, чем при измерении любых других электрических величин. [37]
Любой электрический аппарат обязательно содержит изоляционные детали. Следовательно, должны быть соблюдены определенные нормы на характеристики изоляции. Эти характеристики могут изменяться в зависимости от условий работы, хранения, траспортировки, Особенно сильное воздействие на электрическую изоляцию оказывает коммутационная дуга за счет высоких температур, термоударов, переноса эрозируемого металла. Поэтому проверка характеристик изоляционных материалов осуществляется при первоначальном их выборе, в процессе разработки аппаратов и в последующем процессе производства и эксплуатации. Проверка включает, в частности, измерение объемного и поверхностного сопротивления, а также измерение напряжения пробоя. [38]
Страницы: 1 2 3