Cтраница 4
В этой главе будут описаны наиболее широко применяющиеся методы измерения толщины пленок и определения их состава. Более подробное описание этих методов читатель может найти в литературе, приводимой по тексту и в конце главы. Это относится и к некоторым методам измерения толщины пленок, имеющим ограниченное лабораторное применение. В ряде случаев детальное рассмотрение по этим частным методам будет отсутствовать, так как по ним уже опубликованы обзоры, книги и монографии. Интересным для читателя может оказаться обзор Кейната [11], широко охватывающий технику измерения толщины пленок с учетом ее промышленного использования вплоть до 1955 года. [46]
Безусловно желательно подвергнуть метод поляризованного света тщательному испытанию, сравнивая измерения толщины пленки, полученные оптически, с измерениями ня той же пленке, полученными микролравиметрически или микрохимически; такое сравнение и производится в лаборатории в Трондгейме. Измерения Фичем и Тронстада на пленках жирных кислот на ртути для которых представление о длине цепей можно получить из других источников) дали уверенность в том, что величины, полученные оптическим методом, не далеки от истины. [47]
Агрегаты для производства ориентированной пленки оснащены также бесконтактными приборами для измерения толщины пленки на любой стадии ее производства. [48]
Агрегаты для производства ориентированной пленки оснащены также бесконтактными приборами для измерения толщины пленки на любой стадии ее производства. [49]
Схема установки для одновременной ориентации пленок. [50] |
Агрегаты для производства ориентированной пленки оснащены также бесконтактными приборами для измерения толщины пленки на любой стадии ее производства. Обычно применяют изотопные калибры, основанные на у-излучении. Для снятия статического электричества применяют изотопные, основанные на р-излучении, или высокочастотные ионизаторы. [51]
В работе [42] проанализирована серия экспериментов, проведенных с целью измерения толщины пленки с помощью аппаратуры, использующей интерференцию света. [52]
Еще один пример, иллюстрирующий возможности непосредственной обработки интерферограм-мы, - измерение толщины пленок. В этом случае целесообразно несколько видоизменить ход рассуждений. Предположим, что на нее падает 6-импульс, а отраженный сигнал собирается линзой на вход интерферометра. [53]
Рассмотренный метод имеет существенные преимущества перед другими методами: высокую точность измерения толщины пленки; широкие пределы измерения толщины ( от единиц до нескольких тысяч ангстрем в секунду); длительность непрерывной работы датчика; широкий диапазон скорости осаждения ( 0 2 - 150 мкг / см3 - сек); возможность автоматизации процесса нанесения тонких пленок. [54]
Толщиномер ТПН-IV, работающий по принципу использования вихревых токов, предназначен для измерения толщины пленки лакокрасочного материала, нанесенного на цветные и другие немагнитные металлы. [55]
Занятая жидкой пленкой область, примыкающая к стенке трубопровода, исследовалась, главным образом, с целью измерения толщины пленки. Некоторые авторы [49, 50] пытались измерить непосредственно скорость течения пленки, а Красякова [4] исследовала распределение скоростей. Относительно характеристик поверхности пленки, таких, как амплитуда и частота ряби и волн, проводились эксперименты в Харуэлле [51], позволившие получить качественные данные большей частью для чисто кольцевого режима течения. [56]
Метод исследования поверхности контакта сред по параметрам эллиптической поляризации отраженного света, используемый для контроля поверхности полупроводников, измерения толщины пленок, в исследовании коррозионных и др. процессов. [57]
На рис. 6.21 изображена установка для отбора проб жидкости в общем виде; на рис. 6.22 - устройство для измерения толщины пленки и отбора поверхностного слоя жидкости; на рис. 6.23 - устройство для пропуска глубинных пробоотборников; на рис. 6.24 - то же, в зимнее время. [58]
Прибор ТЛКП ( рис. 4.7) состоит из головки индикатора / типа ИЧМ-2 с ценой деления 0 002 мм и приспособлением для измерения толщины пленок. Приспособление состоит из планки 3 и двух опорных ножек 4, укороченных по сравнению со щупом 5 индикатора на 1 5 мм. Ножки и щуп индикатора находятся в одной плоскости. Концы опорных ножек имеют гладкие отшлифованные сферические поверхности, точно совпадающие с профилем шарика щупа. [59]