Биметаллическая маска
Cтраница 1
Биметаллические маски характеризуются высокой точностью изготовления рисунка и относительной простотой технологического процесса. [1]
 |
Схема изготовления биметаллической маски. [2] |
Биметаллические маски состоят из двух слоев металла. Один, более толстый ( примерно 100 мкм), служит основой и обеспечивает жесткость и механическую прочность маски. [3]
Биметаллическая маска выполняется из достаточно толстой ( до 100 мкм) фольги с нанесенным на ее поверхность тонким ( 10 - 16 мкм) слоем другого металла, который несколько выступает за размеры выреза в фольге. Этот слой и оказывает основное влияние на рассеяние атомов осаждаемого на подложку ИМС материала. [5]
Помимо биметаллических масок, применяются также трехслойные ( сэндвичевые) маски. При этом фоторези-стивное покрытие наносится с обеих сторон и экспонирование производится через два совмещенных фотооригинала, после чего наращивание никеля и его травление производится с двух сторон заготовки. [6]
Схема получения биметаллических масок показана на рис. 2.10. Биметаллические маски характеризуются высокой точностью изготовления рисунка и относительной простотой технологического процесса. [7]
 |
Схема изготовления монометаллических свободных масок. [8] |
Для изготовления биметаллических масок применяют берил-лиевую бронзу или медно-никелевый сплав в качестве основания и никель в качестве тонкого слоя. [9]
Основной недостаток биметаллических масок - разность температурных коэффициентов линейного расширения образующего слоя и основы, что приводит к короблению масок при нагревании в процессе напыления и быстрому выходу их из строя. Для частичного устранения этого недостатка проводят отжиг заготовок маски и готовых масок. Указанный недостаток практически полностью устраняется при использовании трехслойных биметаллических масок. [10]
Схема получения биметаллических масок показана на рис. 2.10. Биметаллические маски характеризуются высокой точностью изготовления рисунка и относительной простотой технологического процесса. [11]
Для изготовления биметаллических масок применяют берил-лиевую бронзу или медно-никелевый сплав в качестве основания и никель - в качестве слоя. На рис. 10 - 18 изображена технологическая схема изготовления биметаллической маски. [12]
Значительно большей точностью обладают биметаллические маски. В качестве основы при изготовлении биметаллических масок используются медь и ее сплавы ( латунь и бронза), а также специальные сорта стали. [13]
Чтобы не допустить растравливания, применяют биметаллические маски. [14]
При этом металл для основного слоя биметаллических масок должен химически растворяться в растворителях, не действующих на образующий слой. На заготовку маски ( предварительно очищенную от окислов и загрязнений) наносят фоторезист, экспонируют и проявляют. Защитив обратную сторону лаком, заготовки электрохимически покрывают слоем никеля толщиной 7 - 10 мкм, что позволяет воспроизводить на маске перегородки шириной до 5 мкм и щели до 10 мкм. Затем удаляют фоторезист и заготовки подвергают травлению в травителе, селективном для основы маски. [15]
Страницы: 1 2 3