Cтраница 3
Вклад в ионизацию дают образующиеся ионы, электромагнитные поля, индуцируемые пучком, а также вторичные электроны. Пока компенсация заряда пучка неполная, вторичные электроны выталкиваются из него. Однако в условиях, когда образовавшиеся ионы полностью компенсируют пространственный заряд пучка, роль вторичных электронов резко возрастает. Из-за резкого изменения тока на переднем фронте мощного электронного пучка генерируется сильное вихревое продольное электрическое поле. Это поле ускоряет вторичные электроны в направлении противоположном направлению движения пучка. Благодаря большому сечению ионизации вторичные электроны вызывают пробой газа и в области пучка образуется плазма с высокой проводимостью. Под действием индукционного электрического поля плазменные электроны создают обратный ток, направленный против тока пучка. [31]
Mace-сепаратор позволяет очистить пучок от примесных атомов и выделить ионы необходимого заряда и энергии. Как правило, при легировании машиностроительных материалов требования к уровню сепарации не слишком высоки. Вместе с тем важной характеристикой является коэффициент переноса пучка ионов высокой интенсивности, определяющий отношение числа частиц на выходе и входе сепаратора. Одна из основных причин, уменьшающих коэффициент переноса - наличие пространственного заряда пучка ионов, и необходимо принятие специальных мер для его компенсации. [32]
Основными причинами возникновения шумов в ЛБВ являются неравномерность вылета электронов из катода ( дробовые шумы), а также то, чтс электроны эмиттируются горячим катодом со скоростями распределенными по закону Максвелла. Кроме того, в ЛБВ происходит перераспределение электронов между электродами. Указанные причины вызывают флуктуации плотности и скорости электронов в пучке. При движении вдоль замедляющей системы флуктуации электронов сохраняются и даже возрастают вследствие хаотического захватывания их положительно заряженной спиралью, а также поперечного движения электронов, происходящего из-за пространственного заряда пучка. [33]